潔凈棚的潔凈度是依據懸浮顆粒物的數量來評定的。具體的標準和等級分類因國家或者地區(qū)的不同而有所差異,一般采用的國際標準是ISO 14644-1。該標準將潔凈度分為等級1至9,其中等級1是最高級別的潔凈度。各等級的潔凈度要求如下:
-Class 1:≤10(0.1μm)particles/m3
-Class 2:≤100(0.1μm)particles/m3
-Class 3:≤1,000(0.1μm)particles/m3
-Class 4:≤10,000(0.1μm)particles/m3
-Class 5:≤100,000(0.1μm)particles/m3
-Class 6:≤1,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 7:≤10,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 8:≤100,000,000(0.1μm)particles/m3
-Class 9:>100,000,000(0.1μm)particles/m3
需要注意的是,具體的潔凈度要求會根據產品的不同而有所不同。因此在實際應用中,需要針對不同的產品和應用場景確定具體的潔凈度要求,并對相應的潔凈棚進行設計、建設、運營和維護。